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1、保证半导体工艺设备的正常运行，为工艺提供稳定的设备状态，并负责设备的日常维护和故障处理工作; 2、作为设备负责人验收、管理相关设备，并能够独立完成设备文件的制定和修改，以及设备相关备品备件的管理; 3、负责制定设备维护周期和计划，并协助工程、研发工程师进行相关设备新制程和新工艺的开发和量产导入工作; 4、负责设备生产recipe的编辑，对工艺生产人员的设备使用培训和考核工作。